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高精密双面可修盘研磨机
 
高精密双面可修盘研磨机设备用途：该机主要适用于超高精密零部件的双面研磨抛光，光学晶体材料、

硅片、砷化镓片、刀片、金属件、石英及其他硬脆材料等高平面度、高平行度要求的双面高精度研磨抛

光。
 
高精密双面可修盘研磨机设备原理：
 
1.本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的

游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。
 
2.本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修

整.
 
高精密双面可修盘研磨机设备特点：
 
1.本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘.
 
2.采用四个电机同步驱动，变速范围更广，动动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料用研磨

工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。
 
4.控制系统中采用CNC、彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更**，并具有远程监控，远程

维护功能。
 
5.本系列研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm，平行度0.002mm、平

面度0.001mm范围内。


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